纯铂靶材技术-东创----铜陵纯铂靶材

使用电子导电性橡胶时，由于导电性填充剂添加量的变化都会引发电阻剧烈变化，纯铂靶材技术，所以存在电阻值很难控制的问题。而且，纯铂靶材工艺，由于橡胶中的导电性填充剂难以均匀分散，所以辊筒的圆周方向和宽度方向上的电阻值不均匀。

对橡胶组合物进行---处理的方法包括使用加压装置和---处理槽的间歇式或连续式---法。用间歇式---法进行---处理制造辊筒时，由于端部和中央部分会产生压力和热传递差，所以电阻值不均匀。

平面显示器（fpd)这些年来大幅冲击以阴极射线管(crt)为主的电脑显示器及电视机市场，亦将带动ito靶材的技术与市场需求。如今的ito靶材有两种．一种是采用纳米状态的氧化铟混合后烧结，铜陵纯铂靶材，一种是采用铟锡合金靶材。铟锡台金靶材可以采用直流反应溅射制造ito薄膜，但是靶表面会氧化而影响溅射率，并且不易得到大尺寸的台金靶材。如今一般采取方法生产ito靶材，利用l}irf反应溅射镀膜．它具有沉积速度快．且能控制膜厚，电导率高，薄膜的一致性好，与基板的附着力强等优点。