金粒生产加工-大连金粒-沈阳东创恪守

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    2023-9-4

赵总
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  • 主营产品|金蒸发镀靶材,银蒸发镀靶材,铂蒸发镀靶材
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背靶的选择

对材质的要求:一般选用无氧铜和钼靶,厚度在3mm左右

导电性好:常用无氧铜,无氧铜的导热性比紫铜好;

强度足够:太薄,易变形,不易真空密封。

结构要求:空心或者实心结构;

厚度适中:3mm左右,金粒生产加工,太厚,消耗部分磁强;太薄,大连金粒,容易变形。

铟焊绑定的流程

1.绑定前的靶材和背板表面预处理

2.将靶材和背板放置在钎焊台上,金粒,升温到绑定温度

3.做靶材和背板金属化

4.粘接靶材和背板

















背靶材料:

无氧铜(ofc)– 目前常使用的作背靶的材料是无氧铜,因为无氧铜具有---的导电性和导热性,而且比较容易机械加工。 如果保养适当,无氧铜背靶可以重复使用10次甚至更多。

钼(mo)– 在某些使用条件比较特殊的情况下,如需要进行高温帖合的条件下,无氧化铜容易被氧化和发生翘曲, 所以会使用金属钼为背靶材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金属靶材的热膨胀系数无法与无氧铜匹配,同样也需要使用金属钼作为背靶材料。




陶瓷靶材

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