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金属靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。
简单说的话,例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜......铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
应用于显示屏的阻挡层或调色层,笔记本电脑的装饰层、电池的封装等.







在储存技术方面,高密度、大容量硬盘的发展,需要大量的巨磁阻薄膜材料,cof~cu多层复合膜是如今应用广泛的巨磁阻薄膜结构。磁光盘需要的tbfeco合金靶材还在进一步发展,用它制造的磁光盘具有存储容量大,香槟金靶材价格,---,可反复无接触擦写的特点。如今开发出来的磁光盘,具有tbfeco/ta和tbfeco/al的层复合膜结构,香槟金靶材,tbfeco/ai结构的kerr旋转角达到58,而tbfecoffa则可以接近0.8。经过研究发现,低磁导率的靶材高交流局部放电电压l抗电强度。

超纯金属的制备有化学提纯法如精馏(---是金属氯化物的精馏及氢还原)、升华、溶剂萃取等和物理提纯法如区熔提纯等(见硅、锗、铝、铟)。其中以区熔提纯或区熔提纯与其他方法相 结合有效。

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